『新機能を生むマイクロ構造の創製とその応用―3次元マイクロ構造,ヘリカルらせん構造,化学センシング,表面マイクロ構造―』増補改訂版 2005年1月 発行 B5版 約600頁 定価 26,000円(税別・送料別) ■刊行主旨■ 近年、ナノテクノロジーが技術的トレンドとして注目されています。しかし、ナノ領域が身近な技術として現れるためにはマイクロ領域からの接近が必要と考えられます。また、マイクロ領域構造体で発現する機能や、半導体のマイクロ加工技術によって提案されるデバイスも少なくありません。 本書は、1)三次元のマイクロ構造体の作製方法とその応用について、2)ヘリカルらせん構造物質の特性とその応用について、3)半導体プロセスをベースに微小流体を取り扱い化学分析や化学合成までを行う技術、4)表面上に作ったマイクロオーダーの凹凸によって発現する超はっ水・超親水現象、について月刊「マテリアルインテグレーション」誌に掲載された記事を系統的にし、1冊にまとめたものです。 Contents 第T部 3次元マイクロ構造と新機能 第1章 フォトニックフラクタル 第1節 フォトニッククリスタルとフォトニックフラクタル (信州大学 理学部 物理科学科 教授 武田 三男) 1 はじめに 2 フォトニッククリスタル 2.1 フォトニックバンドギャップ 2.2 局在モード 3 フォトニックフラクタル 4 まとめ 5 おわりに 第2節 フラクタルの世界 (信州大学 理学部 数理・自然情報科学科 教授 本田 勝也) 1 はじめに 2 古典的フラクタル 2.1 コッホ曲線 2.2 シアビンスキー・ガスケット 3 フラクタル次元の測り方 3.1 相似次元 3.2 ボックスカウント法 3.3 その他の次元 4 まとめ 第3節 フォトニックフラクタルの応用に向けて (大阪大学 接合科学研究所附属 スマートプロセス研究センター 教授 宮本 欽生 ほか) 1 はじめに 2 周期構造と自己相似構造 3 フラクタル構造は異次元の世界 4 フォトニックフラクタルに見られるさまざまな電磁波局在 5 局在周波数の予測 6 フォトニックフラクタル応用への展望 7 おわりに 第4節 フォトニックフラクタルによる電磁波の局在 (大阪大学 接合科学研究所附属 スマートプロセス研究センター 助手 桐原 聡秀 ほか) 1 はじめに 2 スマートプロセス 3 フォトニックフラクタルの設計 4 三次元光造形 5 フォトニックフラクトンの測定 6 フォトニックフラクタルの電磁波特性 7 フラクトンモードと電磁波局在 8 フラクトンモードの緩和時間 9 フォトニックフラクタルの応用 10 おわりに 第5節 3次元フォトニックフラクタルの光波解析に向けて (物質・材料研究機構 ナノマテリアル研究所 主席研究員 迫田 和彰) 1 はじめに 2 フォトニック結晶の局在モード 2.1 双極子輻射 2.2 FDTD法 3 2次元正方格子の局在モード 4 スラブ型フォトニック結晶の分散関係,固有モードの対称性,Q値 5 メンジャースポンジの固有モード 6 おわりに 第2章 フォトニックフラクタル 第1節 テラヘルツ波制御用3次元フォトニック結晶の創製と応用 (信州大学 理学部 物理科学科 教授 武田 三男) 1 はじめに 2 テラヘルツ領域3次元フォトニック結晶の作製 3 テラヘルツ時間領域分光(THz-TDS)による電磁波分散関係の決定 4 フォトニック結晶の応用展開 5 まとめ 第2節 ミリ波通信用3次元フォトニック結晶の創製と応用 (大阪大学 接合科学研究所附属 スマートプロセス研究センター 教授 宮本 欽生 ほか) 1 はじめに 2 光造形法によるフォトニック結晶の作製 3 ダイヤモンド型フォトニック結晶とバンドギャップ形成 4 傾斜格子構造を有するフォトニック結晶 5 反転ダイヤモンド型フォトニック結晶 6 おわりに 第3節 任意次元フォトニック結晶の創製と応用 (科学技術振興事業団プレベンチャー事業 フォトニック結晶偏光子プロジェクトリーダー 川上 彰二郎 ほか) 1 はじめに 2 自己クローニング法による任意次元フォトニック結晶の創製 3 自己クローニング型によるフォトニック結晶の応用 4 むすび 第4節 フォトニック結晶及び高配向メソポーラス薄膜の合成と特性 (東京大学 工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 桑原 誠) 1 はじめに 2 フォトニック結晶の作製と特性 3 メソポーラスシリカ薄膜の合成と特性 4 まとめ 第3章 フォトニックデバイス 第1節 共鳴領域での深溝回析格子を利用した分波器 ((独)産業技術総合研究所 光技術研究部門 ガラス材料技術グループ 西井 準治 ほか) 1 はじめに 2 深溝回析格子の設計と機能 3 深溝回析格子の形成 4 深溝回析格子の埋め込み 5 埋め込み回析格子を導入した極微分波器の試作 6 まとめ 第2節 透明材料のフォトニック結晶の作製とフォトニックデバイス (徳島大学大学院 工学研究科 科学技術振興事業団 松尾 繁樹 ほか) 1 はじめに 2 フォトニック結晶によるフォトニックデバイス 3 集光レーザー加工によるフォトニック結晶 4 レーザー干渉加工によるフォトニック結晶 5 おわりに/今度の展望 第3節 宇宙環境を利用した微小フォトニクス材料の創製 (北陸先端科学技術大学院大学 ナノマテリアルテクノロジーセンター 教授 牧島 亮男 ほか) 1 はじめに 2 ガラスの液−液分相を用いたフォトニクス材料の創製 3 微小重力環境下におけるガラスの液−液分相のその場観察 4 まとめ 第4章 3次元造形法と新機能材料 第1節 3次元マイクロ構造体の作製とMEMSへの応用 (東北大学 未来科学技術共同研究センター 教授 江刺 正喜 ほか) 1 はじめに 2 圧電セラミックスのマイクロロッドアレイ 3 マイクロ熱電素子 4 反応焼結炭化ケイ素マイクロローター 5 終りに 第2節 機能性微小のパターニング・3次元配列の創製と応用 (名古屋大学大学院 工学研究科 物質化学専攻 教授 河本 邦仁 ほか) 1 はじめに 2 微粒子の2次元パターニング 3 セラミックス微粒子の3次元組織化 4 まとめ 第3節 自己組織化膜テンプレートを用いた酸化物セラミックスのパターン製膜 (物質・材料研究機構 物質研究所 主任研究員 齋藤 紀子 ほか) 1 はじめに 2 アルコキシドを用いたアモルファスTiO2のパターニング 3 無機塩を用いたZrO2のパターニング 4 水溶液プロセスによるセラミックス薄膜のパターニング 4.1 液相析出法によるTiO2のパターニング 4.2 液相析出法によるSrTiO3のパターニング 4.3 触媒を用いる無電界析出法によるZnOのパターニング 5 おわりに 第4節 AD法によるマテリアル・インテグレーション技術 ((独)産業技術総合研究所 機械システム研究部門 プロセスメカニズム研究グループ長・セラミックス研究部門 粒子配列制御研究グループ 明渡 純) 1 研究開発の背景 2 噴射成形による高速コーディング(エアロゾルデポジション法) 3 高機能マイクロデバイス低コスト製造への展開 4 低温成形・集積化技術としての可能性 第5節 単分散熱電マイクロ粒子の規則配列焼結と熱電特性 (東北大学大学院 工学研究科 材料加工プロセス学専攻 教授 川崎 亮 ほか) 1 はじめに 2 熱電マイクロ粒子の作製 2.1 パルス圧力付加オリフィス噴射法 2.2 粒子噴射条件の最適化 2.3 平均粒径および粒径分布 2.4 粒子表面性状および粒子内部の組織 3 1次元粒子アセンブルと焼結 4 粒子配列焼結体の熱電特性評価 5 まとめ 第6節 走査電顕下での微粒子3次元配列:その技術と応用 (物質・材料研究機構 材料研究所 インテリジェント材料研究 グループ 主任研究員/科学技術振興事業団 さきがけ研究21 宮崎 英樹) 1 はじめに 2 走査電顕下での微粒子3次元配列技術 3 微粒子配列体と光の相互作用 4 おわりに 第7節 RRPによる金属間化合物の3次元自由造形 (大阪大学 接合科学研究所附属 スマートプロセス研究センター 教授 宮本 欽生 ほか) 1 はじめに 2 反応性ラピッドプロトタイピングとは 3 RRP装置の試作 4 3次元自由造形制御 5 おわりに 第5章 3次元構造体と新機能 第1節 高速通信を可能にする屈折率傾斜機能型プラスチック光ファイバ (慶應義塾大学 理工学部 教授/ 科学技術振興事業団・ERATO 小池プロジェクト 総括責任者 小池 康博) 1 はじめに 2 GI型POFの開発史 3 GI型ファイバの構造 4 GI型POFの性能 4.1 伝送損失 4.2 伝送帯域 5 おわりに 第2節 細胞膜の3次元マイクロ構造と外環境検知能力 (岐阜大学 工学部 教授 野方 文雄) 1 はじめに 2 細胞膜の3次元構造と外環境を感ずる情報技術 3 植物の環境負荷検知能 4 おわりに 第3節 3D−ヘリカル/らせん構造物質・材料について (岐阜大学 工学部 応用化学科 教授 元島 栖二) 1 はじめに 2 材料創製の新概念:コスモ・ミメティック 3 3D−ヘリカル/らせん構造物質・材料 4 キラリティ(巻き方向)制御法 5 3D−ヘリカル/らせん構造材料の特性と機能 第4節 カーボンマイクロコイル(CMC)の合成,モルフォロジー及び基本物性 (岐阜大学 工学部 応用化学科 教授 元島 栖二) 1 はじめに 2 合成法 3 モルフォロジー 4 成長メカニズム 5 特性・応用 第U部 ヘリカルらせん構造物質とその応用 第1章 構造と特性 第1節 CMCの微構造 (長崎大学 工学部 材料工学科 教授 岩永 浩 ほか) 1 はじめに 2 実験 3 結果と考察 3.1 as-grown CMCの形態 3.2 熱処理温度とグラファイト化の関係 3.3 熱処理3000℃の高分解能写真 3.4 熱処理後の空気酸化されたコイルの格子像 4 まとめ 第2節 CMCの機械的特性 (長崎大学 工学部 材料工学科 教授 岩永 浩 ほか) 第3節 CMCを含有した複合材の機械的特性 (名古屋市工業研究所 資源環境部環境技術研究室 中野 万敬 ほか) 第4節 らせん構造物質の電磁気学的キラリティ (近畿大学 生物理工学部 助教授 浅居 正充 ほか) 1 はじめに 2 キラル媒質研究の黎明 3 キラル媒質の構成 4 キラル媒質の電磁気学的取り扱い 4.1 キラル媒質に対する構成関係式 4.2 等価媒質定数の決定法 4.3 キラル媒質における電磁波の伝搬 5 キラル媒質から成る構造の解析 6 低反射・吸収技術に関する議論 7 むすび 第2章 応用 第1節 CMCの電磁波吸収材への応用 (シーエムシー技術開発(株) 技術開発部 主任 菱川 幸雄 ほか) 1 はじめに 2 CMCの電磁波吸収特性 3 CMCを活用した電磁波吸収材 3.1 CMCビーズの特徴 4 CMCの電磁波吸収メカニズム 4.1 電磁波吸収材料 4.2 CMCの電磁波吸収作用・効果 5 まとめ 第2節 CMCの触覚センサーへの応用 (シーエムシー技術開発(株) 技術開発プロジェクト担当 葛谷 知洋 ほか) 1 はじめに 2 CMCセンサー特性 2.1 機械的特性 2.2 電気的特性 2.3 電磁気的特性 3 CMCを応用した触覚インテリジェントセンサー 3.1 CMC触覚センサー素子と基本原理 3.2 CMC触覚センサー回路 4 CMC触覚インテリジェントセンサー活用の方向性 4.1 ヒューマノイドロボットへの活用 4.2 医療機器への活用 4.3 建築内装材への活用 5 まとめ 第3節 ヘリカルカーボンナノファイバの電子エミッタへの応用 (豊橋技術科学大学 電気・電子工学系) 1 はじめに 2 ヘリカルカーボンナノファイバ 2.1 合成方法 2.2 合成物 3 電子放出特性 4 おわりに 第4節 CMCの水素吸蔵特性 (長崎大学 教育学部 教授 古谷 吉男) 1 はじめに 2 供試CMC試料 3 水素吸蔵能の測定 3.1 室温以下での測定方法と結果(上昇圧測定(容積法)) 3.2 室温以上での測定方法と結果(TDS測定(質量分析法)) 4 水素吸蔵特性に及ぼす各種前処理の効果 4.1 予備加熱処理の効果 4.2 メカニカルミリング処理の効果 4.3 Ti添加の効果 5 おわりに 第5節 カーボンマイクロコイルの化粧品への応用 (日本メナード化粧品(株) 小川 雅久) 1 炭素材料と化粧品 2 カーボンマイクロコイルの可能性 3 化粧品原料に必要な安全性試験 4 カーボンマイクロコイルの生物活性 5 化粧品と電磁波問題 6 カーボンマイクロコイルの配合化粧品と今後 第6節 CMCの癌治療への応用 ((財)応用生化学研究所 研究部長 幸村 定昭) 1 はじめに 2 CMC存在下,水の超音波照射による・OHの発生 2.1 電子スピン共鳴法による検出 2.2 CMC存在下,水の超音波照射による・OHの発生:サリチル酸水酸化物の高速液体クロマトグラフィー(HPLC)による検出 3 CMC存在下,水の超音波照射による癌細胞の増殖抑制 3.1 培養ヒト肝臓癌細胞に対する増殖抑制作用 3.2 マウスザルコーマに対する増殖抑制作用 4 まとめ 第7節 らせん高分子の合成と機能 (名古屋大学大学院 工学研究科 教授 八島 栄次 ほか) 1 はじめに 2 人工らせん高分子 3 誘起らせん高分子 4 フラーレンをらせん状に並べる 5 おわりに 第8節 ヘリカル状セラミックスファイバーの合成 (信州大学大学院 工学系研究科 教授 英 謙二) 1 はじめに 2 有機ナノファイバーを形成するゲル化剤 3 セラミックスナノファイバーの合成 4 おわりに 第V部 マイクロ構造による化学プロセシング 第1章 化学プロセシング 第1節 マイクロ化学プラント ((財)マイクロマシンセンタ 矢田 恒二) 1 はじめに 2 マイクロ流体デバイス 2.1 バルブ 2.2 ポンプ 2.3 マイクロミキサ 2.4 マイクロリアクター 3 マイクロ化学システム 3.1 コンビナトリケミストリー 3.2 ケミカルマザーボード 4 まとめ 第2節 集積化ミクロ化学システム (東京大学大学院 工学系研究科 教授/ 神奈川科学技術アカデミー インテグレーテッドケミストリー・プロジェクトリーダー 北森 武彦) 1 はじめに 2 マイクロチャネルチップの特徴と単位操作 3 集積化ミクロ化学センサ 3.1 重金属分析チップ 3.2 電極集積化チップ 3.3 4ch免疫分析チップ 3.4 合成反応チップ 4 おわりに 第3節 電気化学センサを集積化した微小化学分析システムの構築 (筑波大学 物質工学系 助教授 鈴木 博章 ほか) 1 はじめに 2 積層モジュールによる微小化学分析システムの構築 2.1 モジュール化の利点 2.2 血液ガス・電解質測定用モジュール 2.3 参照電極モジュール 2.4 マイクロバイオセンサを搭載した代謝物質測定用モジュール 3 インテリジェントモスキート 4 プロテオーム解析のための抗体チップ 5 おわりに 第4節 マイクロ化学・バイオ分析システムの開発 (奈良先端科学技術大学院大学(NAIST) 物質創成科学研究科 感覚機能素子科学講座 教授 /(株)島津製作所 基盤技術研究所 吉田 多見男 ほか) 1 はじめに 2 電気泳動用マイクロチップ 3 ラミネート流を利用したマイクロリアクター 第2章 デバイス化 第1節 新しいDNAチップ技術としての電気化学的アレイ(ECA)チップ (九州大学大学院 工学研究院 応用化学部門 助教授 竹中 繁織 ほか) 1 はじめに 2 実験 2.1 化学物質 2.2 ECAチップ 2.3 ECAチップ上へのDNA プローブの固定化 2.4 ECAチップ上でのハイブリダイゼーション 2.5 ECAチップでの測定 3 結果と考察 3.1 ECAチップの電極表面の均一性 3.2 電極上に固定化されたDNAプローブ量の評価 3.3 2本鎖形成による電流増加:Δiによる評価 3.4 p53遺伝子の1塩基多型 (SNP) 4 まとめ 第2節 マイクロ電気泳動マイクロチップ ((独)産業技術総合研究所 ヒューマンストレスシグナル研究センター 研究チーム長 脇田 慎一) 1 はじめに 2 マイクロチップ電気泳動 2.1 キャピラリー電気泳動 2.2 キャピラリー電気泳動の分離モード 2.3 マイクロチップ電気泳動の特長 3 マイクロ電気泳動チップ 3.1 マイクロ電気泳動チップの設計 3.2 マイクロ電気泳動チップの材料 3.3 マイクロ電気泳動チップの作製法 4 マイクロ流体制御 5 まとめ 第3節 カード型マイクロバイオセンシングシステム (東京農工大学 工学部 部長 生命工学科 教授 松永 是 ほか) 1 はじめに 2 PMMAマイクロチップの製作 3 電気化学検出法 4 フェロセン標識抗体によるヒスタミンの検出 5 おわりに 第4節 平面薄膜ぜん動駆動薬液投与マイクロポンプ (東京工業大学 精密工学研究所 教授 横田 眞一) 1 まえがき 2 薄膜ぜん動マイクロポンプ 2.1 構造と駆動原理 2.2 特長 3 片面駆動薄膜ぜん動マイクロポンプの試作 4 ポンピング特性 5 間歇駆動パターンによる負荷特性の向上 6 あとがき 第5節 キャピラリーカーボンマイクロ電極 (東京農工大学 工学部 生命工学科 教授 松岡 英明 ほか) 1 はじめに 2 キャピラリーカーボンマイクロ電極の作製法 3 キャピラリーカーボンマイクロ電極の構造 4 ドーパミンの測定への適用 5 単一細胞実験への適用 6 おわりに 第6節 集積化光電圧法バイオセンサ (埼玉大学 工学部 教授 勝部 昭明) 1 はじめに 2 表面光電圧法センサの動作原理と特長 3 酵素センサ 4 酵素イムノアッセイ 5 細胞,微生物活性の測定 6 味覚センサ 7 バイオイメージセンサ 8 おわりに 第7節 生体分子のリアルタイム検出 (NTT生活環境研究所 環境情報流通研究部 バイオセンシング研究グループ 丹羽 修) 1 はじめに 2 マイクロデバイスによる細胞計測 2.1 アレイ電極型チップ 2.2 マイクロフロー型デバイス 2.3 差分型測定による伝達物質の計測 3 マイクロデバイスによる生体内分子計測 3.1 マイクロリアクタによる選択性向上 3.2 マイクロチップを用いたインビボ測定システム 4 おわりに 第8節 マイクロ電極を用いたバイオセンシング (東北大学大学院 工学研究科 生物工学専攻 教授 末永 智一 ほか) 1 はじめに 2 マイクロ電極の特徴 3 マイクロ電極を用いた生体局所反応の測定 4 走査型電気化学顕微鏡 5 SECMによる単一植物細胞の光合成および呼吸活性のイメージング 6 SECMによる動物細胞の呼吸活性と毒物の影響のモニタリング 7 SECMを用いた酵素固定化基板のパターリング 8 おわりに 第W部 表面三次元構造によるぬれの制御 第1章 現象と形成法 第1節 フラクタル表面の超はっ水・超親水現象 (花王(株)ヘルスケア第1研究所 主任研究員 恩田 智彦) 1 はじめに 2 フラクタル表面 3 ぬれ現象 4 フラクタル表面のぬれ現象(理論) 5 超はっ水・超親水性フラクタル表面(実験) 5.1 アルキルケテンダイマーによる超撥水表面 5.2 超撥水/撥油性金属表面 6 おわりに 第2節 電着塗装法による超はっ水性皮膜の形成 ((株)日立製作所 機械研究所 室井 克美) 1 はじめに 2 電着塗装法による皮膜形成方法 3 皮膜のはっ水性に及ぼす諸因子の検討 3.1 電着塗料の影響 3.2 フッ素樹脂粒子の影響 3.3 フッ素樹脂電着塗料の影響 4 まとめ 第3節 ゾル−ゲル法による超撥水コーティング薄膜の形成と応用 (大阪府立大学大学院 工学研究科 南 努 ほか) 1 はじめに 2 温水処理を伴うゾル−ゲル法による表面に微細な凹凸を持つアルミナ薄膜の作製およびこれを利用した透明超撥水コーティング膜 2.1 表面に微細な凹凸を持つアルミナ薄膜の作製 2.2 透明超撥水コーティング膜の作製 3 昇華性塩を含有した塗布膜を用いた超撥水コーティング膜 4 ゲルの相分離による微細凹凸形成を利用した撥水膜 5 超撥水・超親水パターンの形成 6 まとめ 第4節 プラズマCVD法による超はっ水薄膜の形成と応用 (名古屋大学大学院 工学研究科 材料プロセス工学専攻 教授 高井 治) 1 はじめに 2 プラズマCVD法による超はっ水薄膜の形成方法 2.1 マイクロ波プラズマCVD 法 2.2 超はっ水薄膜評価法 3 超はっ水性酸化シリコン薄膜 4 おわりに 第5節 化学吸着法による超はっ水性超薄膜の形成と応用 (松下電器産業(株)ディスプレイデバイス開発センター 先行要素開発チーム 美濃 規央) 1 表面荒さ接触角の関係 2 凹凸表面の形成 3 化学吸着単分子膜の形成 4 超撥水成長薄膜の形成 5 今後の超撥水化技術 第6節 超撥水膜の形成法 (昭和テクノコート(株) 代表取締役 飯田 繁樹) 1 はじめに 2 表面の凹凸 3 超微粒子の分散方法 4 溶媒 5 バインダー 6 超撥水のメカニズム 7 超撥水コーティングの応用実験 8 おわりに 第7節 光触媒による超親水性表面の形成と応用 (東京大学 先端科学技術研究センター 教授 橋本 和仁) 1 光触媒表面上で起こる反応 2 超親水性になるしくみ 3 超親水性表面の応用例 4 今後の課題 第8節 超撥水塗膜,およびその表面撥水性の光制御 ((株)日立製作所 日立研究所 エネルギー材料研究部 界面材料 ユニット 主任研究員 佐々木 洋) 1 はじめに 2 超撥水塗料と超撥水表面の作製 3 撥水性に光制御 4 超撥水表面の凹凸構造の解析 5 撥水性の光制御の応用 6 光以外の撥水性制御方法 7 おわりに 第2章 応用 第1節 防曇表面の形成と応用 (松下電工(株) 住建分社 住建R&Dセンター 石原 政行) 1 はじめに 2 防曇性の原理 3 浴室用防曇鏡に要求される性能 4 防曇コーティング材の開発 4.1 汚染に対する耐性付与 5 評価技術 5.1 耐かび取り剤性の向上 5.2 耐摩耗性の向上 5.3 防曇性評価 −防曇性の定量化− 5.4 耐汚染性評価 5.5 洗浄回復性評価 5.6 耐久性評価 第2節 溶剤型塗料による超はっ水性皮膜の形成と応用 (大同工業大学 教授 山内 五郎) 1 はじめに 2 はっ水性の評価 3 雪氷の分類 4 従来の着氷着雪防止法 5 超はっ水材料の着雪防止法 6 超はっ水材料の着雪防止アンテナへの応用 第3節 光触媒環境材料と環境浄化技術の研究開発 ((独)産業技術総合研究所 セラミックス研究部門 環境材料化学 研究グループ 田中 一彦) 1 はじめに 2 二酸化チタン光触媒 3 環境材料化学研究グループの研究 3.1 二酸化チタン透明薄膜光触媒 3.2 二酸化チタン光触媒の多孔質化 3.3 二酸化チタン光触媒の高機能化 3.4 産業廃棄物の光触媒担体への利用 3.5 光触媒の評価技術,環境計測技術 4 光触媒の応用展開 4.1 空気浄化(脱臭・排ガス浄化など) 4.2 汚れ防止,曇り止め 4.3 大気浄化 4.4 抗菌防かび 4.5 水処理 5 おわりに |