マテリアル インテグレーション 2009年4月号 特集 MEMSデバイス関係の半導体プロセスとエレセラ材料技術のせめぎあい MEMSとセラミックス(総論) MEMS用封止ガラスと接合材料の可能性 極細貫通電極付きガラス基板 シリコンと熱膨張係数を合わせた多層貫通配線LTCC基板 ガラスのレーザーダイシング 微細ガラスプレスモールディング用SiCモールド モノリシックPZT多軸マイクロステージ 水晶を用いた各種センサ Micromachining of LiNbO3 and its application to wireless passive SAW sensors 連載第2次世界大戦後の日本のセラミックス科学の発達に友好と親善に尽力した世界の大学教授や科学者(39)高圧の材料化学,ハイドロサーマル反応,ソルボサーマル反応による材料の合成,材料科学の発展に尽力したフランス ボルドー大学 Gerard Demazeau教授 連載プレゼン修行拾遺録 【第4回】我、如何にして人に口頭発表術を説くに至りしか |